AALBORG质量流量控制器DPC
AALBORG质量流量控制器
DPC
，产品概要
具有多气体功能、温度和压力的精密数字质量流量控制器
设计特点
同时显示质量流量、体积流量、压力和温度。
多气体功能：支持
90
种不同的气体和气体混合物。
“用户定义的混合物”功能允许创建和存储
20
种自定义气体混合物，每种混合物多
5
种不同的气体。
快速（100-150
毫秒）响应时间。
标准精度
±
(0.5% RD + 0.2% FS)
。
200比
1
的调节比。
两个可编程的质量流量累加器。
具有质量流量、温度和压力的预设动作延迟的高、低或范围内警报。
用户可编程质量流量脉冲输出（通过
SSR）。
具有状态
LED
或
OLED
指示的自诊断。
所有
3
个用户可选的模拟输入和输出接口都是标准的：
0-5Vdc
、
0-10Vdc
、
4-20mA
。
两个用户可选择的数字通信接口（RS-232
和
RS-485
）是标准的。
带有隔离
RS485
收发器的可选
Modbus RTU
网络接口。
具有锁存选项的用户可编程固态继电器。
通用
12-26 Vdc
电源输入。
带有操纵杆控制的本地高对比度
OLED（可选）图形显示器。
易于使用的配置和校准软件
(RS-232/RS-485)
可编程设定点表，具有多达
16
步的上升
/
下降能力。
Aalborg Instruments
的
DPC
系列精密数字质量流量控制器可对工艺气体的质量流量进行准确稳定的控制。质量流量、体积流量、压力和温度参数的固有同步显示促进了各种行业的应用，例如科学和分析应用、生物反应器和表面沉积、气体采样、制造和计量活动。
DPC
精密数字质量流量控制器包含多种气体功能，允许现场用户通过可选的
OLED/
操纵杆接口在本地选择多达
30
种不同的气体，通过
RS232/RS485
接口或可选的
ModBus RTU
接口远程选择。
DPC
流量控制器支持各种功能，包括：用户可选的本地、模拟、数字或程序设定点控制，两个可编程流量累加器，
LOW
、
HIGH
或
RANGE FLOW
，温度和压力警报，自动调零（通过本地或通信接口激活），可编程
SSR
继电器、可编程
0-5 Vdc
、
0-10 Vdc
或
4-20 mA
模拟输入和输出、用户可编程脉冲输出（通过
SSR
）和的自诊断功能。
AALBORG DPC
系列差压式质量流量控制器具有批处理模式的累加器，±
(0.5% RD + 0.2% FS)
标准精度，
200:1
调节比和小于
150 ms
的响应时间。
与具有这些功能的单个
DPC
的成本相比，与购买和安装多个特定于应用程序的设备的成本相比，显着的节省是显而易见的。
操作原理
DPC
质量流量控制器的操作基于对特别设计的节流元件
(RFE)
的压差测量。限流器流量元件设计用于在仪器操作的整个范围内（从满量程的
0%
到
133%
）建立层流。高精度和高分辨率差压传感器用于测量层流通道上的压降，该压降与体积流量成线性比例。为了将体积流量转换为质量流量，使用了高精度和高分辨率的绝对压力和温度传感器。根据传感器的数据和仪器内置气体数据库中的气体特性，微控制器计算体积和质量流量，压力和温度参数可在仪器显示屏上以及通过数字接口
RS-232
、
RS-485
或可选的
ModBus RTU
获得。此外，质量流量读数可通过仪器模拟接口访问，用户可以将其设置为
0-5 Vdc
、
0-10 Vdc
或
4-20 mA
模式。
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